| 发明名称 |
スパッタ装置用電源装置 |
| 摘要 |
【課題】付加的な回路を用いることなく、半導体スイッチング素子への過大な電圧の印加を防止するとともに、放電負荷に供給する電流を安定的に保持可能なスパッタ用電源装置の提供。【解決手段】直流電源１の負極性出力端と負極側電圧出力端９ｂとの間に、半導体スイッチング素子３に直列にインダクタ２の主巻線２ａを接続し、直流電源１に並列に、インダクタ２の回生巻線２ａとダイオード６の直列回路を接続したスパッタ用電源装置。【選択図】図１ |
| 申请公布号 |
JP2017008401(A) |
申请公布日期 |
2017.01.12 |
| 申请号 |
JP20150127706 |
申请日期 |
2015.06.25 |
| 申请人 |
京都電機器株式会社 |
发明人 |
木村 智;辻本 正志;岡本 景太;藤吉 敏一;伏谷 周一 |
| 分类号 |
C23C14/34;H01L21/203;H05H1/46 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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