发明名称 流体制御装置
摘要 【課題】流体の挙動を制御することが可能な技術を提供する。【解決手段】複数のビーム4と、複数のビームの間隔を調整するビーム間隔調整機構6を備え、複数のビームは基準面に沿って配置されており、ビーム間隔調整機構が、複数のビームを前記基準面に沿う方向に相対変位させることで、複数のビームの間隔を調整する。また、ビーム間隔調整機構が、複数のビームを基準面に垂直な方向に相対変位させることで、複数のビームの間隔を調整する【選択図】図2
申请公布号 JP2017008960(A) 申请公布日期 2017.01.12
申请号 JP20150121813 申请日期 2015.06.17
申请人 株式会社豊田中央研究所 发明人 村田 香苗;島岡 敬一
分类号 F15D1/12;B64C33/02 主分类号 F15D1/12
代理机构 代理人
主权项
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