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发明名称
流体制御装置
摘要
【課題】流体の挙動を制御することが可能な技術を提供する。【解決手段】複数のビーム4と、複数のビームの間隔を調整するビーム間隔調整機構6を備え、複数のビームは基準面に沿って配置されており、ビーム間隔調整機構が、複数のビームを前記基準面に沿う方向に相対変位させることで、複数のビームの間隔を調整する。また、ビーム間隔調整機構が、複数のビームを基準面に垂直な方向に相対変位させることで、複数のビームの間隔を調整する【選択図】図2
申请公布号
JP2017008960(A)
申请公布日期
2017.01.12
申请号
JP20150121813
申请日期
2015.06.17
申请人
株式会社豊田中央研究所
发明人
村田 香苗;島岡 敬一
分类号
F15D1/12;B64C33/02
主分类号
F15D1/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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