タッチパネル用透明電極、タッチパネル、表示装置、およびタッチパネル用透明電極の製造方法

摘要

タッチパネル用透明電極は、窒素含有層と、これに隣接して設けられた電極層とを備えている。電極層は、窒素含有層の成膜開始後から成膜終了後２分までの間に隣接して成膜された層である共に、シート抵抗の測定が可能な１２ｎｍ以下の膜厚を有し、銀または銀を主成分とした合金を用いて構成されている。