发明名称 OPTICAL APPARATUS AND METHOD OF ORIENTING A REFLECTIVE ELEMENT
摘要 이동가능한 반사 요소(110) 및 관련 액추에이터(109)를 구비하는 광학 장치가 개시된다. 액추에이터는, 제1 마그넷의 이동이 이동가능한 반사 요소의 이동을 야기하도록 이동가능한 반사 요소에 연결되는 제1 마그넷(113)과, 모터의 동작이 제2 마그넷의 이동을 야기하도록 모터(116)에 연결되는 제2 마그넷(114)을 포함하고, 제2 마그넷은 제2 마그넷의 이동이 제1 마그넷의 이동을 야기하도록 제1 마그넷에 대하여 위치되어 있다.
申请公布号 KR101693562(B1) 申请公布日期 2017.01.06
申请号 KR20127006065 申请日期 2010.04.09
申请人 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 发明人 뷔스 에드빈;드 브리스 고세;분 피델루스
分类号 G03F7/20;G02B7/182 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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