发明名称 |
NECKED INTERCONNECT FUSE STRUCTURE FOR INTEGRATED CIRCUITS |
摘要 |
네크형 라인 세그먼트를 갖는 퓨즈를 포함하는 인터커넥트 퓨즈 구조체들, 뿐만 아니라 이러한 구조체들을 제조하는 방법들. 인가되는 퓨즈 프로그래밍 전압들에 의해 구동되는 전류는 IC의 동작에 영향을 미치도록 네크형 퓨즈 세그먼트들을 개방할 수 있다. 실시예들에서, 퓨즈 구조체는 중앙 인터커넥트 라인으로부터 등거리인 한 쌍의 인접하는 인터커넥트 라인들을 포함한다. 추가 실시예들에서, 중앙 인터커넥트 라인, 및 인접하는 인터커넥트 라인들 중 적어도 하나는 동일한, 그리고 상보성인 양만큼 상이한 측방향 폭들의 라인 세그먼트들을 포함한다. 추가 실시예들에서, 중앙 인터커넥트 라인은 네크형 라인 세그먼트의 반대 엔드들에서 인터커넥트된다. 추가 실시예들에서, 네크형 라인 세그먼트는 피치-감소 스페이서 기반의 패터닝 프로세스로 제조된다. |
申请公布号 |
KR20170002380(A) |
申请公布日期 |
2017.01.06 |
申请号 |
KR20167027924 |
申请日期 |
2014.05.08 |
申请人 |
인텔 코포레이션 |
发明人 |
첸, 잔핑;여, 앤드류 더블유.;정, 성태;바타차르야, 우달라크;윌리스, 찰스 에이치. |
分类号 |
H01L23/525;H01L21/768;H01L23/528 |
主分类号 |
H01L23/525 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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