露光装置及びデバイス製造方法

摘要

【課題】液体の供給及び回収を所望状態で行うことができ、基板上に投影されるパターン像の劣化を抑えることができる露光装置を提供する。【解決手段】露光装置は、液体（ＬＱ）を供給する供給口（１２）及び液体（ＬＱ）を回収する回収口（２２）を有するノズル部材（７０）と、メインコラム（１）の下側段部（７）に対してノズル部材（７０）を防振支持する防振機構（６０）とを備えている。【選択図】図１