| 摘要 |
【課題】中間層として、配向性の優れたＭｇＯ層を形成して、その上層のＣｅＯ２層の高配向性を実現して、優れた超電導特性を有する超電導線材を好適に製造する酸化物超電導線材の製造方法を提供すること。【解決手段】基板上に少なくともＬａＭｎＯ３層を表面に有する基材の前記表面にイオンビームアシスト法により成膜したＭｇＯ層を形成する第１工程と、前記ＭｇＯ層が形成された基材に、前記ＭｇＯの上層として少なくともＣｅＯ層及びＲＥＢａＣｕＯ超電導層（ＲＥは、Ｙ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ及びＹｂから選択された１種以上の元素を示す）を形成する第２工程とを有し、前記第１工程は、前記基材の表面の前記ＬａＭｎＯ３層への前記ＭｇＯ層の成膜時に、前記基材を冷却する。【選択図】図３ |
