| 摘要 |
【課題】構造が簡単で、動作時に専有する面積が小さい搬送ロボットを提供する。【解決手段】本発明の搬送ロボットは、例えば製造装置の側壁等に固定された支持部材と、ハンド部材が直線移動自在に保持された搬送アームと、第１、第２リンク部材とを備える。第１、第２リンク部材の下端部は、それぞれ、支持部材に回動自在に連結される。また、第１、第２リンク部材の上端部は、それぞれ、搬送アームに回動自在に連結される。ハンド部材は、例えば半導体ウェハ等のワークを保持・運搬する。支持部材と第１リンク部材との連結部分に与えられた回転駆動力は、所定の機構によって搬送アームに伝達されて、ハンド部材を直線移動させる。また、搬送アームは、第１リンク部材又は第２リンク部材を回転させることによって、移動する。 |
