| 摘要 |
【課題】枚葉の基材を吊り下げて搬送する際の基材の変形が防止される搬送装置、及び搬送方法を提供する。【解決手段】 枚葉の基材（１２）を吊り下げて第一方向（１６Ａ）に搬送し、基材を把持する第一把持部（２７）、第二方向（１２Ｈ）について基材の第一把持位置の基材の端側に配置され、基材の被把持面を支持可能な構造を有する第一支持部（２８）を備えた第一搬送部（１６）と、第二方向について第一把持位置と異なる位置を把持する第二把持部（２６）、第二方向について第二把持部による第二把持位置の基材の端側に配置され、基材の被把持面を支持可能な構造を有する第二支持部（２３）を備えた第二搬送部（１４）と、を備え、第二方向について第一支持部が第一把持部、第二把持部の基材の端側に配置され、第二支持部が第一把持部、第二把持部の基材の端側に配置される。【選択図】図２ |
