| 摘要 |
【課題】Ｘ線反射率法によって表面・界面の凹凸について相関距離を含む２次元情報を得る。【解決手段】試料にＸ線を照射し、鏡面反射方向に反射する鏡面反射Ｘ線の強度を検出し、入射Ｘ線強度に対する鏡面反射Ｘ線強度の割合であるＸ線反射率を測定する（Ｓ１０）。試料の解析モデルについてパラメータの初期値を設定し（Ｓ１２）、Ｘ線の屈折、反射及び干渉を解析して、Ｘ線反射率を計算する（Ｓ１４）。Ｘ線反射率の測定値と計算値との差が許容範囲内に収まるまで、パラメータを変更しながら計算を繰り返す（Ｓ１６、Ｓ１８）。差が許容範囲内に収まったときのパラメータによって、試料の多層構造の情報を得る（Ｓ２０）。パラメータは、解析モデルの各層の表面又は界面のうち一つ以上について、表面又は界面の凹凸の高さ方向の大きさを表すラフネスと、凹凸の高さ方向に対して垂直方向の間隔を表す相関距離とを含む。【選択図】図２ |
