| 发明名称 | 喷嘴板、液体喷射头以及液体喷射装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供喷嘴板、液体喷射头以及液体喷射装置。本发明的硅喷嘴板的喷嘴开口内表面、排出面的耐液性优异。在喷嘴板的硅基板设置有多个喷嘴开口。在所述硅基板的两面以及所述喷嘴开口的内表面设置有通过原子层堆积的方式而形成的氧化钽膜。 | ||
| 申请公布号 | CN103895347B | 申请公布日期 | 2017.01.04 |
| 申请号 | CN201310722229.1 | 申请日期 | 2013.12.24 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 长门谷贤;内藤信宏;若松康介;中村宙哉 |
| 分类号 | B41J2/14(2006.01)I | 主分类号 | B41J2/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 李洋;舒艳君 |
| 主权项 | 一种在硅基板设置有多个喷嘴开口的喷嘴板，所述喷嘴板的特征在于，遍及所述硅基板的两面以及所述喷嘴开口内表面设置有通过原子层堆积的方式所形成的氧化钽膜，在排出面的所述氧化钽膜层叠有硅材料的等离子体聚合膜，所述氧化钽膜的厚度处于<img file="FDA0001025291790000011.GIF" wi="146" he="67" />以上50nm以下的范围。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||