发明名称 |
光掩模集成微塑型方法 |
摘要 |
本发明提供一种简单低成本、可提高生产效率的光掩模集成微塑型方法,其包括如下步骤:S101、在显微镜载玻片的表面涂覆形成牺牲层,并进行烘焙;S102、向微型模具的型腔内滴入光刻胶,并盖上冷却后的显微镜载玻片;S103、对微型模具先进行曝光前预加热,即在50℃~100℃范围内选择多个温度由低至高地依次烘烤;S104、让微型模具在紫外线光源照射下曝光,使型腔内的纳米复合材料固化;S105:对微型模具进行曝光后烘烤,即在50℃~100℃范围内选择多个温度由低至高地依次烘烤;S106、将微型模具冷却到室温后,从模具中脱模,移走载玻片和三维微结构,并除去未交联的薄膜;S107、冲洗三维微结构,并进行干燥。 |
申请公布号 |
CN106292182A |
申请公布日期 |
2017.01.04 |
申请号 |
CN201610846947.3 |
申请日期 |
2016.09.23 |
申请人 |
中国科学院深圳先进技术研究院 |
发明人 |
李晖;陈静;张南南;王磊 |
分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/00(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 |
代理人 |
赵勍毅 |
主权项 |
一种光掩模集成微塑型方法,其特征在于,包括如下步骤:S101、在显微镜载玻片的表面涂覆形成牺牲层,并进行烘焙;S102、向微型模具的型腔内滴入光刻胶,并盖上冷却后的显微镜载玻片,所述光刻胶为纳米复合材料;S103、对微型模具先进行曝光前预加热,所述预加热的操作为在50℃~100℃范围内选择多个温度由低至高地依次烘烤;S104、让微型模具在紫外线光源照射下曝光,使型腔内的纳米复合材料固化;S105:对微型模具进行曝光后烘烤,所述烘烤的操作为在50℃~100℃范围内选择多个温度由低至高地依次烘烤;S106、将微型模具冷却到室温后,从模具中脱模,移走载玻片和三维微结构,并除去未交联的薄膜;S107、冲洗三维微结构,并进行干燥。 |
地址 |
518055 广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号 |