柔性衬底CdTe薄膜太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开一种柔性衬底CdTe薄膜太阳能电池及其制备方法，其由以下7个部分组合而成：1)、透明的柔性衬底薄膜材料层；2)、在所述柔性衬底薄膜材料层上低温沉积有Zn_xCd_1‑xO形成的透明导电薄膜层；3)、在所述透明导电薄膜层的部分位置上形成负极；4)、设置在所述透明导电薄膜层上的CdS薄膜窗口层，5)、设置在所述CdS薄膜窗口层上的CdTe薄膜吸收层；6)、设置在所述CdTe薄膜吸收层上的背电极金属接触层；7)、设置在所述背电极金属接触层上的柔性薄膜材料封装层。本发明具有成本低，效率高和满足不同领域需求的优点，且可以应用于低温工艺的柔性衬底薄膜CdTe薄膜太阳能电池的大批量制备。

主权项

一种柔性衬底CdTe薄膜太阳能电池的制备方法，其特征在于，采用如下的制备步骤：a、制备透明的柔性衬底薄膜材料层；b、在所述柔性衬底薄膜材料层上低温沉积Zn_xCd_1‑xO，制备形成透明导电薄膜层；所述透明导电薄膜层采用Zn_xCd_1‑xO低温沉积工艺，所述透明导电薄膜层采用反应式磁控溅射方法制备，靶材为Zn/Cd组成的合金，Zn和Cd的纯度分别达到99.99％以上；在沉积形成透明导电薄膜层之前，先将所述柔性衬底薄膜材料层用超声波乙醇清洗10min，再用去离子水超声清洗10min，最后用氮气吹干；沉积时，所述柔性衬底薄膜材料层的温度为200℃，沉积室背景压强小于5×10^‑3Pa，溅射电压400V，沉积时间15min；c、在所述透明导电薄膜层的部分位置上丝网印刷银浆，制备形成用于汇集电流的负极；d、在所述透明导电薄膜层未印刷银浆的位置上制备CdS薄膜窗口层；e、在所述CdS薄膜窗口层上制备CdTe薄膜吸收层；f、在所述CdTe薄膜吸收层上制备背电极金属接触层；g、在所述背电极金属接触层上制备柔性薄膜材料封装层，用于对背电极进行密封保护；h、获得柔性衬底CdTe薄膜太阳能电池。