| 摘要 |
전위확장전극선이 보강된 이차전자억제전극 및 이를 사용한 짧은 파라데이컵이 개시된다. 개시된 이차전자억제전극 및 이를 사용한 짧은 파라데이컵은 이온빔이 내부로 입사되도록 일측에 개방공이 형성되고, 외부의 전기장 차폐역할을 하는 차폐하우징; 차폐하우징 내부에 배치되며, 이온빔을 이루는 하전입자가 충돌되는 전하포집기; 개방공과 전하포집기 사이에 배치되며, 하전입자가 전하포집기에 충돌된 이후, 전하포집기의 표면에서 외부로 방출되는 이차 전자들이 전하포집기로 되돌아가도록 음전압이 인가되는 이차전자 억제전극; 이차 전자 억제전극에 연결된 복수 개의 전위확장전극선을 포함한다. |
