摘要 |
홀 센서, 제1 스트레스 민감도 및 제1 온도 민감도를 갖는 제1 측면 등방성 센서, 제2 스트레스 민감도 및 제2 온도 민감도를 갖는 제2 측면 등방성 센서, 선택적 증폭 수단, 디지털화 수단; 그리고 두개의 파라미터만으로 n 차 다항식으로 표현 될 수있는 미리 정의 된 공식에 기초하여, 디지털 도메인에서 스트레스 및 온도 보상 홀 값을 산출하도록 구성된 계산 수단을 포함하는, 자장을 측정하기 위한 집적된 반도체 장치. 상기 이들 파라미터는 센서 요소로부터 직접 얻어지거나, 한 세트의 두 연립 방정식으로부터 계산된다. 홀 전압 신호를 얻고, 그리고 스트레스와 온도에 대하여 상기 신호를 보상하는 방법. |