| 摘要 |
본 개시는 반도체 소자에 관한 것이다. 예시적인 반도체 소자는 반도체 기판, 및 반도체 기판 위의 격리 구조체를 포함한다. 반도체 소자는 또한, 반도체 기판 위에 제1 에피택셜 핀 및 제2 에피택셜 핀을 포함하고, 제1 에피택셜 핀 및 제2 에피택셜 핀은 격리 구조체로부터 돌출한다. 반도체 소자는 또한, 제1 에피택셜 핀 및 제2 에피택셜 핀 위에 있고 제1 에피택셜 핀 및 제2 에피택셜 핀을 가로지르는 게이트 스택을 포함한다. 또한, 반도체 소자는 격리 구조체의 상부 표면으로부터 연장하는 리세스를 포함한다. 리세스는 제1 에피택셜 핀 및 제2 에피택셜 핀 사이에 있다. |
