| 摘要 |
본 발명은 캡 장치 및 공정 장비를 제공한다. 상기 캡 장치는 물 분사 냉각부 및 상부 커버를 포함하되, 상기 물 분사 냉각부와 상기 상부 커버는 서로 분리된 구조체들이고, 상기 물 분사 내각부는 상기 상부 커버를 따라 수직 방향으로 움직일 수 있다. 상기 공정 장비는 석영 챔버, 구동 장치, 및 상기 캡 장치를 포함하되, 상기 구동 장치는 상기 캡 장치 내의 상기 상부 커버에 연결되어 상기 상부 커버를 상기 수직 방향으로 움직이게 하는데 사용되고, 상기 수직 방향으로의 상기 상부 커버의 이동 거리는 상기 수직 방향으로의 상기 물 분사 냉각부의 이동 거리보다 크거나 상기 수직 방향으로의 상기 물 분사 냉각부의 상기 이동 거리와 같다. 본 발명에 따른 상기 캡 장치 및 상기 공정 장비의 구조 디자인은 간결하고 합리적이며, 상기 석영 챔버를 쉽게 손상시키지 않을 수 있다. |
