一种用于激光加工的样品距离检测装置

摘要

本实用新型公开了一种用于激光加工的样品距离检测装置，包括沿主光路顺序排列的用于发出加工光束的激光器、激光功率调谐机构、快门、第一偏振分光棱镜、全反镜、激光光束直径调整系统、第二偏振分光棱镜、物镜和用于放置样品的三维移动平台，特点是三维移动平台背面设置有背景照明LED，第二偏振分光棱镜的分光路上设置有成像CCD，第一偏振分光棱镜的分光路上设置有聚焦透镜和光电倍增管，光电倍增管与放置在三维移动平台上的样品表面处在共聚焦位置，激光器、三维移动平台、快门、激光功率调谐机构和光电倍增管分别与控制计算机连接，优点在于利用加工系统用的激光器及三维移动平台，在实现精确测量的同时，尽可能地降低成本。

主权项

一种用于激光加工的样品距离检测装置，包括沿主光路顺序排列的用于发出加工光束的激光器、激光功率调谐机构、快门、第一偏振分光棱镜、全反镜、激光光束直径调整系统、第二偏振分光棱镜、物镜和用于放置样品的三维移动平台，其特征在于所述的三维移动平台背面设置有背景照明LED，所述的第二偏振分光棱镜的分光路上设置有成像CCD，所述的第一偏振分光棱镜的分光路上设置有聚焦透镜和光电倍增管，所述的光电倍增管与放置在所述的三维移动平台上的样品表面处在共聚焦位置，所述的激光器、所述的三维移动平台、所述的快门、所述的激光功率调谐机构和所述的光电倍增管分别与控制计算机连接。