形状测量设备的控制方法和控制装置

摘要

本发明提供一种形状测量设备的控制方法和控制装置，其中，该形状测量设备对相对于设计数据具有较大偏差的工件连续地进行标称扫描测量。基于工件的设计数据来计算移动触针头所沿的扫描路径。沿着该扫描路径来移动触针头，监测所述扫描路径和实际工件之间的距离是否过大。在扫描路径和所述实际工件之间的距离过大的情况下，生成轨迹误差错误。在生成轨迹误差错误的情况下，对设计数据进行几何校正以使得设计数据接近实际工件。基于几何校正之后的设计数据来进行扫描测量。

主权项

一种形状测量设备的控制方法，其中，所述形状测量设备包括在前端具有触针头的探测器和移动所述触针头来扫描工件的表面的移动机构，并且所述形状测量设备被配置为通过检测所述触针头和所述工件的表面之间的接触来测量所述工件的形状，所述控制方法包括：基于所述工件的设计数据来计算移动所述触针头所沿的扫描路径；沿着所述扫描路径来移动所述触针头；监测所述扫描路径和实际的工件之间的距离是否过大；在所述扫描路径和所述实际的工件之间的距离过大的情况下，生成轨迹误差错误；在生成所述轨迹误差错误的情况下，对所述设计数据进行几何校正以使得所述设计数据接近所述实际的工件；以及基于所述几何校正后的设计数据来进行扫描测量。