机台之机械手臂偏移的检测装置及其检测方法

摘要

一种机台之机械手臂偏移的检测装置，具体为晶舟，具有间隔设置的控片容置区域，控片容置区域之第一控片容置区域和第二控片容置区域以中间控片容置区域为中心呈对称分布，且第一控片容置区域和第二控片容置区域沿晶舟之两端的纵向宽度较中间控片容置区域的纵向宽度呈阶梯型逐次增大。本发明通过以中间控片容置区域为中心，并对称设置宽度呈阶梯型增大的第一控片容置区域和第二控片容置区域，且依据机械性刮伤缺陷定义第一偏移区域、第二偏移区域和第三偏移区域，在进行偏移检测时通过在控片上铺设光阻或淀积氮氧化物薄膜的方式，可在缺陷发生的早期时间内及时检测，并进行设备维修、保养，减少产品报废量，改善产品良率。

主权项

一种机台之机械手臂偏移的检测装置，其特征在于，所述机台之机械手臂偏移的检测装置为晶舟，所述晶舟具有间隔设置的控片容置区域，所述控片容置区域之第一控片容置区域和第二控片容置区域以所述晶舟之中间控片容置区域为中心呈对称分布，且所述第一控片容置区域和所述第二控片容置区域沿所述晶舟之两端的纵向宽度较所述中间控片容置区域的纵向宽度呈阶梯型逐次增大，所述机台之机械手臂偏移的检测装置以所述晶舟之中间控片容置区域为中心，并向所述晶舟之两侧延伸，对称连续的设置第一偏移区域、第二偏移区域、第三偏移区域。