容器输送装置及容器输送设备

摘要

支承体具备将小容器定位的第1定位部和将大容器定位的第2定位部。第1定位部具备将小容器支承的第1支承体和与第1被卡合部卡合的第1卡合体。第2定位部具备以大容器的底面位于比第1卡合体的上端靠上方的位置的高度支承大容器的第2支承体、装备在第1支承区域的外侧并与第2被卡合部卡合的第2卡合体、装备在第1支承区域的外侧并对大容器从侧方抵接的抵接体。

主权项

一种容器输送装置，具备支承体和移动机构，前述支承体将半导体基板收纳用的容器从下方支承，前述移动机构使前述支承体移动，其特征在于，作为前述容器，至少包括小容器和大容器这两种，前述大容器的上下方向观察时的大小比前述小容器大，前述小容器在其底面上具备3个槽状的第1被卡合部，前述大容器在其底面上具备3个槽状的第2被卡合部，3个前述第1被卡合部分别以其长度方向沿着前述小容器的底面上的以第1基准位置为中心的放射方向的状态，形成在前述小容器的底面上，3个前述第2被卡合部分别以其长度方向沿着前述大容器的底面上的以第2基准位置为中心的放射方向的状态，形成在前述大容器的底面上，3个前述第2被卡合部的每一个与前述第2基准位置的离开距离都比3个前述第1被卡合部的每一个与前述第1基准位置的离开距离中的最大距离长，前述支承体具备第1定位部和第2定位部，前述第1定位部将支承在前述支承体上的前述小容器在前述上下方向观察时定位在第1支承区域中，前述第2定位部将支承在前述支承体上的前述大容器在前述上下方向观察时定位在第2支承区域中，前述第2支承区域设定成，其一部分与前述第1支承区域重复，前述第1定位部具备第1支承体和第1卡合体，前述第1支承体将前述小容器从下方支承，前述第1卡合体与3个前述第1被卡合部中的至少两个从下方卡合，前述第2定位部具备第2支承体、第2卡合体、抵接体，前述第2支承体以前述大容器的底面位于比前述第1卡合体的上端靠上方的位置的高度支承前述大容器，前述第2卡合体在前述上下方向观察时装备在前述第1支承区域的外侧来与3个前述第2被卡合部的一个卡合，前述抵接体在前述上下方向观察时装备在前述第1支承区域的外侧，相对于位于前述第2支承区域中的前述大容器从与上下方向交叉的方向抵接。