一种用于光电探测器批量测试的载盘及载盘系统

摘要

本发明公开了一种用于光电探测器批量测试的载盘及载盘系统，该批量测试载盘包括多个阵列式分布的芯片槽，以及气孔、抽气孔、信号端金属桩、信号端金属引线、信号输出触槽、电源端金属桩、电源端金属引线和电源输入触槽。所述芯片槽、气孔以及抽气孔用以固定待测光电探测器；所述信号端金属桩、信号端金属引线以及信号输出触槽用以将待测光电探测器的测量信号读出；所述电源端金属桩、电源端金属引线以及电源输入触槽用以为待测光电探测器提供供电。所述批量测试载盘辅以信号输出接口和电源输入接口，构成了本发明所提供的批量测试载盘系统。本发明能够对成百上千个光电探测器同时进行快速高效的测试；并且可以方便地实现多个测试量的快速读取，进而方便地对测试量进行快速地统计分析。

主权项

一种用于光电探测器批量测试的载盘，其特征在于，从下至上依次设置有气路层和芯片固定层，所述气路层和芯片固定层密封连接；所述气路层包括气腔和抽气孔，所述气腔通过所述抽气孔与外界相连；所述芯片固定层包括M行N列(M和N的取值均大于等于1)规则排列的芯片槽，及信号端金属桩、电源端金属桩、气孔、信号端金属引线、电源端金属引线、信号输出触槽和电源输入触槽；所述芯片槽表面处的宽度大于其底部的宽度，以便于待测光电探测器的放入和取出；所述芯片槽通过多个气孔与所述气腔相连；所述信号端金属桩和电源端金属桩分别位于所述芯片槽底部相对的两端，并被所述多个气孔分隔开，且二者的上表面均与所述芯片槽的底部面平齐；所述信号输出触槽通过所述信号端金属引线与所述信号端金属桩一一电气相连，用以将待测光电传感器的光学测量量或电学测量量读出；每一列芯片槽对应M个信号输出触槽，所述测试载盘共有M×N个信号输出触槽；所述每一列芯片槽对应的M个信号输出触槽按照其对应芯片槽在该列中的顺序等间距排成一列；所述M×N个信号输出触槽均位于所述芯片固定层的同一个侧面上，且规则排列；所述电源输入触槽通过所述电源端金属引线与所述电源端金属桩电气相连，用以为待测光电传感器提供供电；每一列的电源端金属桩均通过电源端金属引线互连到属于该列的同一个电源输入触槽上，所述每一列芯片槽中的M个芯片槽共用一个电源输入触槽，所述测试载盘共有N个电源输入触槽；所述N个电源输入触槽均位于所述芯片固定层与信号输出触槽所在侧面相对的一个侧面上；所述N个电源输入触槽位于同一水平面上且等间距排列；所述信号端金属桩、电源端金属桩、信号端金属引线、电源端金属引线、信号输出触槽和电源输入触槽彼此之间相互电绝缘，并且分别与芯片固定层之间相互电绝缘。