一种能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台

摘要

本申请提供了一种新型的SiC生长坩埚平台，该装置通过螺栓将两块石墨平台连接在一起，并将坩埚固定于两块石墨平台之间，当石墨受热膨胀时，由于螺栓的固定，石墨平台不会发生位置平移，从而保障了坩埚位置的稳定性。另外，在两块石墨平台相对的一侧，在每个石墨平台上设有一个半圆，两个半圆内侧设置有加热套，坩埚正好放置于该加热套内，使得坩埚受热均匀，避免了坩埚内由于局部过热而对产品造成影响，也避免了坩埚内由于局部受不到热，而对能源造成浪费。为了加速石墨及坩埚的温度降低，在石墨块和坩埚的地下设置冷水管，冷水管盘绕在石墨块底端，当需要冷却时，可以通入冷却水，水将热量带走，从而使得坩埚的温度迅速降下来。

主权项

一种能够迅速冷却的SiC生长坩埚平台，其特征在于，包括第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)，所述的第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)通过两个螺栓(2)连接在一起，两根螺栓(2)分别贯穿第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)的两侧；所述的第一石墨平台(1)和第二石墨平台(3)放置在不锈钢底座(6)上，且不锈钢底座(6)内设置有冷水管(7)，所述的冷水管(7)盘绕在不锈钢底座(6)的顶端。