| 摘要 |
본 발명은 내부에 진공 공간을 형성하고 일 측에 개방구가 형성되며, 전자빔 발생이 가능한 전자빔 발생수단을 구비하는 컬럼부, 상기 컬럼부의 개방구와 대향하여 위치하고, 대기압에서 시료를 지지하는 지지부, 상기 컬럼부의 개방구와 결합되고, 전자빔이 통과할 수 있으며 두께가 다른 복수의 영역을 구비하는 투과창을 가지는 커버부를 포함하는 시료 관찰 장치로서, 하나의 장치로 구성부의 교체 없이 대기압 중의 시료의 이미지 및 성분을 각각 정밀하게 관찰 및 분석 가능한 시료 관찰 장치, 커버 어셈블리 및 시료 관찰 방법이 제시된다. |
