Method for Manufacturing Heat Insulation Sheet of Metal Multipore using Imprint

摘要

본 발명은 임프린트를 이용한 메탈 다기공 단열시트의 제조방법에 관한 것으로, 기판 상에 접착 보강재를 처리한 후 경화성 레진을 도포하는 단계와, 상기 경화성 레진에 NIL(nanoimprint lithography) 공정을 실시하여 폴리머 구조체를 형성하는 단계와, 상기 폴리머 구조체 상에 메탈을 증착하는 단계와, 상기 증착된 제1 메탈에 자외선 램프를 노출시켜 폴리머 구조체를 수축시켜 기공들을 형성하는 단계와, 상기 기공들이 형성된 제1 메탈 상에 제2 메탈을 증착한 후 CMP(Chemo Mechanical Polishing) 공정으로 평탄화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.