发明名称 | LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统 | ||
摘要 | 本专利涉及一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统,其主要特征在于:将一片施密特校正板插入主镜与被测物体的光路中,施密特校正板的一面设计成高次非球面,施密特校正板最主要的作用是校正主次镜产生的球差,其不仅使得激光聚焦光斑直径变得更小,还可以使得该LIBS系统具有光谱探测和显微成像的双重功能。 | ||
申请公布号 | CN205719985U | 申请公布日期 | 2016.11.23 |
申请号 | CN201620319450.1 | 申请日期 | 2016.04.15 |
申请人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明人 | 姜守望;王欣;万金龙;何志平;舒嵘;王建宇 |
分类号 | G01N21/71(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/71(2006.01)I |
代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人 | 郭英 |
主权项 | 一种LIBS光谱探测及显微成像的多功能系统,包括:激光器(1),扩束模块(2),反射式显微系统,像差校正板(7),耦合透镜组(9),光纤探测模块(11),成像探测器(12),其特征在于:激光器(1)发射出1064nm的激光,经扩束模块(2)扩束后,由反射镜(3)和偏置于主镜(5)和次镜(6)之间的第一分色片(4)进入反射式显微系统,之后经像差校正板(7)聚焦到被测物体(8)上,被测物体(8)受到激光照射后产生等离子体光谱,等离子体光谱经主镜(5)、次镜(6)及第一分色片(4)进入耦合透镜组(9),通过耦合透镜组(9)之后到达偏置于耦合透镜组(9)之后的第二分色片(10),第二分色片(10)将光束分成两路,一路光进入光谱探测模块(11)进行光谱探测,另一路光进入成像探测器(12)进行显微成像。 | ||
地址 | 200083 上海市虹口区玉田路500号 |