组合薄膜制备装置和方法

摘要

本发明涉及一种组合薄膜制备装置和方法。所述组合薄膜制备装置包括移动掩膜板、靶材基座和衬底基座；所述移动掩膜板为具有第一轴线的圆筒形，所述移动掩膜板根据控制围绕所述第一轴线旋转；所述移动掩膜板设置有至少一个掩膜图案窗口；所述靶材基座用于固定靶材，所述靶材基座固定地或可移动地设置于所述移动掩膜板的内侧；所述衬底基座用于固定沉积组合薄膜的介质衬底，所述衬底基座设置于所述移动掩膜板的外侧，并与所述靶材基座相对。本发明的组合薄膜制备装置和方法可以形成组分呈现直线梯度变化的组合薄膜。

主权项

一种组合薄膜制备装置，包括移动掩膜板、靶材基座和衬底基座；所述移动掩膜板为具有第一轴线的圆筒形，所述移动掩膜板根据控制围绕所述第一轴线旋转；所述移动掩膜板设置有至少一个掩膜图案窗口；所述靶材基座用于固定靶材，所述靶材基座固定地或可移动地设置于所述移动掩膜板的内侧；所述衬底基座用于固定沉积组合薄膜的介质衬底，所述衬底基座设置于所述移动掩膜板的外侧，并与所述靶材基座相对；其中，所述组合薄膜制备装置还包括设置于移动掩膜板和所述衬底基座之间的固定掩膜板，所述固定掩膜板在与所述衬底基座相对的位置设置有掩膜图案窗口；所述移动掩膜板设置有具有不同形状的第一掩膜图案窗口、第二掩膜图案窗口和第三掩膜图案窗口。