| 发明名称 | 静电吸盘 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种静电吸盘。基于本发明的静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置被吸附物的第1主面和所述第1主面相反侧的第2主面；电极，设置在所述陶瓷电介体基板的所述第1主面与所述第2主面之间；以及连接部，在所述陶瓷电介体基板的比所述电极更靠所述第2主面侧与所述电极连接，且具有与所述电极接触的第1区域，其中，在将从所述第1主面朝向所述第2主面的方向作为第1方向，将与所述第1方向正交的方向作为第2方向时，所述第1区域在所述电极及所述连接部的所述第2方向上观察的截面上，沿所述电极的所述第2主面侧外形的延长线与所述连接部外形的切线所形成的角度当中所述连接部侧的角度在所述第1方向上逐渐增大。 | ||
| 申请公布号 | CN103907181B | 申请公布日期 | 2016.11.16 |
| 申请号 | CN201280046774.7 | 申请日期 | 2012.09.27 |
| 申请人 | TOTO株式会社 | 发明人 | 和田琢真;穴田和辉 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;B23Q3/15(2006.01)I;H02N13/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 金相允;浦柏明 |
| 主权项 | 一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置被吸附物的第1主面和所述第1主面相反侧的第2主面；电极，设置在所述陶瓷电介体基板的所述第1主面与所述第2主面之间；以及连接部，具有在所述陶瓷电介体基板的比所述电极更靠所述第2主面侧的第1区域，且所述连接部的所述第1区域与所述电极接触，其中，在将从所述第1主面朝向所述第2主面的方向作为第1方向，将与所述第1方向正交的方向作为第2方向时，所述第1区域在所述电极及所述连接部的所述第2方向上观察的截面上，沿所述电极的靠近所述第2主面侧的外形的延长线与所述连接部外形的切线所形成的角度当中所述连接部侧的角度在所述第1方向上逐渐增大。 | ||
| 地址 | 日本福冈县 | ||