一种高速气浮板及其使用方法

摘要

本发明涉及一种高速气浮板，所述高速气浮板具有三个互相独立的储气腔，所述储气腔沿纵向分布，且所述高速气浮板的上表面沿纵向具有两条泄压槽，所述两条泄压槽分别位于中间的储气腔与两侧的储气腔之间，从而将所述高速气浮板分成三个独立的气浮模块。下料时，只开启中间气浮模块进行低压供气，防止玻璃基板与高速气浮板快速分离出现的吸附现象，且保证玻璃基板不飘移；上料时，只开启中间气浮模块进行负压供气，防止玻璃基板撞击高速气浮板，且保证玻璃基板不飘移；夹持时，同时再开启两侧两个气浮模块进行供气，玻璃基板与高速气浮板可快速充分分离；检测时，通气并使得中间气浮模块压力比两侧两个气浮模块压力小，保证玻璃基板的平整度。

主权项

一种高速气浮板，其特征在于：所述高速气浮板具有三个互相独立的储气腔（1），所述储气腔（1）沿纵向分布，且所述高速气浮板的上表面沿纵向具有两条泄压槽（2），所述两条泄压槽（2）分别位于中间的储气腔（1）与两侧的储气腔（1）之间，从而将所述高速气浮板分成三个独立的气浮模块。