| 发明名称 |
Method for reducing the content of nitrogen of Silicon Carbide Powder and Silicon carbide single crystal thereof |
| 摘要 |
본 발명은 탄화규소 분말의 질소함유량을 감소시키는 방법 및 이에 의해 제조된 탄화규소 단결정에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 탄화규소 분말의 질소함유량을 100 ppm 이하로 낮출 수 있고, 이를 이용하여 탄화규소 단결정 성장시 10ohm-cm 이상의 고저항 탄화규소 단결정의 수득이 가능하다. |
| 申请公布号 |
KR101674585(B1) |
申请公布日期 |
2016.11.09 |
| 申请号 |
KR20150009672 |
申请日期 |
2015.01.21 |
| 申请人 |
한국세라믹기술원 |
发明人 |
서원선;김영희;이명현;김수룡;권우택;신동근;정은진;정성민;권용진 |
| 分类号 |
C30B23/00;C30B29/36 |
主分类号 |
C30B23/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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