| 发明名称 | 硬掩模组合物和使用所述硬掩模组合物形成图案的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及硬掩模组合物和使用所述硬掩模组合物形成图案的方法。硬掩模组合物可包括具有在约5nm-约100nm范围内的尺寸的石墨烯纳米颗粒和溶剂。 | ||
| 申请公布号 | CN106054533A | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
| 申请号 | CN201610028493.9 | 申请日期 | 2016.01.15 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 申铉振;金尚元;薛珉洙;朴晟准;赵连柱 |
| 分类号 | G03F7/09(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/09(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 金拟粲 |
| 主权项 | 硬掩模组合物，其包括：具有在5nm‑100nm范围内的尺寸的多个石墨烯纳米颗粒；和溶剂。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||