发明名称 |
显影液的浓度监测系统及方法 |
摘要 |
本发明公开了一种显影液的浓度监测系统及方法,该系统包括:第一提取设备,用于从显影液存储设备提取显影液;第二提取设备,用于从反应液存储设备提取反应液;反应室,第一提取设备和第二提取设备进一步分别将提取到的显影液和反应液输送至反应室,以使得二者在反应室内进行化学反应;检测设备,用于检测反应后的显影液和反应液的PH值;计算设备,用于根据检测设备所检测到的PH值计算显影液的浓度。通过上述方式,本发明能够准确直观地在线反映显影液的浓度。 |
申请公布号 |
CN106053537A |
申请公布日期 |
2016.10.26 |
申请号 |
CN201610349174.8 |
申请日期 |
2016.05.24 |
申请人 |
深圳市华星光电技术有限公司 |
发明人 |
巫景铭 |
分类号 |
G01N27/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01N27/00(2006.01)I |
代理机构 |
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 |
代理人 |
何青瓦 |
主权项 |
一种显影液的浓度监测系统,其特征在于,所述浓度监测系统包括:第一提取设备,用于从显影液存储设备提取显影液;第二提取设备,用于从反应液存储设备提取反应液;反应室,所述第一提取设备和所述第二提取设备进一步分别将提取到的所述显影液和所述反应液输送至所述反应室,以使得二者在所述反应室内进行化学反应;检测设备,用于检测反应后的所述显影液和所述反应液的PH值;计算设备,用于根据所述检测设备所检测到的PH值计算所述显影液的浓度。 |
地址 |
518006 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号 |