| 摘要 |
【課題】対向する導電体パターンと検査電極とに導電パターンと交差する方向に位置ずれが生じた際に、適正に検出信号を取得して、正確な導電体パターンの欠陥判定を行う。【解決手段】導電体パターン検査装置は、検査対象の櫛形の導電体パターンの櫛歯部に対向し非接触で給電した検査信号を検出する第１のセンサ電極対と、第１のセンサ電極対と同等の構成を有し、櫛歯間の回路基板に対向するように第２センサ電極対が配置される。検査時に導電体パターンと回路基板とが櫛歯部の延伸方向と交差する方向に位置ずれした際に、第１のセンサ電極による検出信号に対して、第３のセンサ電極による検出信号で補完し判定信号を生成する。【選択図】図１ |
