| 发明名称 | 真空夹具 | ||
| 摘要 | 本发明揭露了一种真空夹具，包括：承载集成、密封单元、夹具连接头及至少一个真空管。承载集成具有凹槽，凹槽内设有至少一个第一真空孔。密封单元包括密封圈，密封圈凸起形成真空槽，密封圈开设有至少一个第二真空孔，密封圈固定设置在承载集成的凹槽内，密封圈的第二真空孔与承载集成的第一真空孔相连通。夹具连接头具有至少一个抽气口及与抽气口相连通的至少一个抽气孔，夹具连接头与承载集成固定连接。真空管将承载集成的第一真空孔与夹具连接头的抽气孔连通。本发明真空夹具通过设置密封圈，使得真空夹具具有良好的气密性，从而使晶圆能够稳固夹持于真空夹具上。 | ||
| 申请公布号 | CN104471700B | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
| 申请号 | CN201280071561.X | 申请日期 | 2012.03.28 |
| 申请人 | 盛美半导体设备(上海)有限公司 | 发明人 | 王坚;金一诺;邵勇;王晖 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;B25B11/00(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;B25J15/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陆嘉 |
| 主权项 | 一种真空夹具，其特征在于，包括：承载集成，所述承载集成具有凹槽，凹槽内设有至少一个第一真空孔；密封单元，所述密封单元包括密封圈，密封圈凸起形成真空槽，密封圈开设有至少一个第二真空孔，密封圈固定设置在承载集成的凹槽内，密封圈的第二真空孔与承载集成的第一真空孔相连通；夹具连接头，所述夹具连接头具有至少一个抽气口及与抽气口相连通的至少一个抽气孔，夹具连接头与承载集成固定连接；及至少一个真空管，所述真空管将承载集成的第一真空孔与夹具连接头的抽气孔连通。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区中国上海张江高科技园区蔡伦路1690号第4幢 | ||