发明名称 |
掩膜框架 |
摘要 |
本实用新型公开了一种掩膜框架,该掩膜框架包括设置有凹槽的基体以及掩膜固定件,并且掩膜固定件固定于凹槽中,能够使固定于掩膜固定件上的掩膜镀膜张紧布设在掩膜框架上。将掩膜框架设计为可拆卸的基体以及掩膜固定件,在使用后只需打磨用于固定掩膜镀膜的掩膜固定件,不会对基体造成任何的损坏,报废时也只需报废掩膜固定件,从而有效降低了生产中掩膜框架的运用成本。 |
申请公布号 |
CN205662586U |
申请公布日期 |
2016.10.26 |
申请号 |
CN201620407306.3 |
申请日期 |
2016.05.04 |
申请人 |
合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
发明人 |
乔永康;潘晟恺;徐鹏 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京路浩知识产权代理有限公司 11002 |
代理人 |
李相雨 |
主权项 |
一种掩膜框架,其特征在于,所述掩膜框架包括基体,所述基体设置有凹槽;所述掩膜框架还包括用于固定掩膜镀膜的掩膜固定件,所述掩膜固定件固定于所述凹槽中,使固定于所述掩膜固定件上的掩膜镀膜张紧布设在所述掩膜框架上。 |
地址 |
230011 安徽省合肥市新站区工业园内 |