发明名称 掩膜框架
摘要 本实用新型公开了一种掩膜框架,该掩膜框架包括设置有凹槽的基体以及掩膜固定件,并且掩膜固定件固定于凹槽中,能够使固定于掩膜固定件上的掩膜镀膜张紧布设在掩膜框架上。将掩膜框架设计为可拆卸的基体以及掩膜固定件,在使用后只需打磨用于固定掩膜镀膜的掩膜固定件,不会对基体造成任何的损坏,报废时也只需报废掩膜固定件,从而有效降低了生产中掩膜框架的运用成本。
申请公布号 CN205662586U 申请公布日期 2016.10.26
申请号 CN201620407306.3 申请日期 2016.05.04
申请人 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 发明人 乔永康;潘晟恺;徐鹏
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 代理人 李相雨
主权项 一种掩膜框架,其特征在于,所述掩膜框架包括基体,所述基体设置有凹槽;所述掩膜框架还包括用于固定掩膜镀膜的掩膜固定件,所述掩膜固定件固定于所述凹槽中,使固定于所述掩膜固定件上的掩膜镀膜张紧布设在所述掩膜框架上。
地址 230011 安徽省合肥市新站区工业园内
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