发明名称 线栅偏振器及其制造方法
摘要 提供一种线栅偏振器及其制造方法。所述线栅偏振器包括:基板;多个导电布线图案,平行地形成以从基板的顶表面突出;第一硬掩模图案,设置在导电布线图案上;第二硬掩模图案,设置在第一硬掩模图案上,其中,第二硬掩模图案的锥角与第一硬掩模图案的锥角的比值为1或更大。
申请公布号 CN106054301A 申请公布日期 2016.10.26
申请号 CN201610087740.2 申请日期 2016.02.16
申请人 三星显示有限公司 发明人 吴知勋;安泰泳
分类号 G02B5/30(2006.01)I 主分类号 G02B5/30(2006.01)I
代理机构 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人 刘灿强
主权项 一种线栅偏振器,所述线栅偏振器包括:基板;多个导电布线图案,平行地形成,所述多个导电布线图案从所述基板的顶表面突出;第一硬掩模图案,设置在所述多个导电布线图案上;以及第二硬掩模图案,设置在所述第一硬掩模图案上,其中,所述第二硬掩模图案的锥角与所述第一硬掩模图案的锥角的比值为1或更大。
地址 韩国京畿道龙仁市