发明名称 | 线栅偏振器及其制造方法 | ||
摘要 | 提供一种线栅偏振器及其制造方法。所述线栅偏振器包括:基板;多个导电布线图案,平行地形成以从基板的顶表面突出;第一硬掩模图案,设置在导电布线图案上;第二硬掩模图案,设置在第一硬掩模图案上,其中,第二硬掩模图案的锥角与第一硬掩模图案的锥角的比值为1或更大。 | ||
申请公布号 | CN106054301A | 申请公布日期 | 2016.10.26 |
申请号 | CN201610087740.2 | 申请日期 | 2016.02.16 |
申请人 | 三星显示有限公司 | 发明人 | 吴知勋;安泰泳 |
分类号 | G02B5/30(2006.01)I | 主分类号 | G02B5/30(2006.01)I |
代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人 | 刘灿强 |
主权项 | 一种线栅偏振器,所述线栅偏振器包括:基板;多个导电布线图案,平行地形成,所述多个导电布线图案从所述基板的顶表面突出;第一硬掩模图案,设置在所述多个导电布线图案上;以及第二硬掩模图案,设置在所述第一硬掩模图案上,其中,所述第二硬掩模图案的锥角与所述第一硬掩模图案的锥角的比值为1或更大。 | ||
地址 | 韩国京畿道龙仁市 |