端口门定位装置及相关的方法

摘要

一种装载端口具有端口门和带开口的框体，所述端口门通过所述开口与用于保持半导体工件的容器的容器门进行交接。在一个实施例中，活动的关闭机构连接到端口门并且限定成相对于端口门和框体两者能够以受控的方式活动。在此实施例中，静止的关闭机构设置在框体上接近于所述开口。在另一个实施例中，静止的关闭机构连接到端口门，并且活动的关闭机构设置在框体上接近于所述开口。在该两个实施例中，活动的关闭机构限定成与静止的关闭机构进行接合，使得活动的关闭机构与静止的关闭机构进行接合的运动在端口门与容器门之间施加闭合力。

主权项

一种装置，包括：端口门；框体，该框体被限定成具有开口，所述端口门通过所述开口与容器门进行交接，该容器门与容器连接，所述容器被构造为携载在半导体制造设施内的至少一个工件；第一静止板形凸轮，该第一静止板形凸轮在沿着所述框体的开口的第一侧的位置处被附着到所述框体，所述第一静止板形凸轮具有形成在其中的成角度地朝向所述框体的第一通道；第二静止板形凸轮，该第二静止板形凸轮在沿着所述框体的开口的第二侧的位置处被附着到所述框体，所述第二侧相对于所述框体的开口基本上与所述第一侧相反，所述第二静止板形凸轮具有形成在其中的成角度地朝向所述框体的第二通道；第一活动关闭机构，该第一活动关闭机构被固定到所述端口门并限定成相对于所述端口门和所述框体二者运动，所述第一活动关闭机构的一部分被限定为当所述第一活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时装配在所述第一静止板形凸轮的第一通道内并且沿着所述第一静止板形凸轮的第一通道运动；以及第二活动关闭机构，该第二活动关闭机构被固定到所述端口门并限定成相对于所述端口门和所述框体二者运动，所述第二活动关闭机构的一部分被限定为当所述第二活动关闭机构相对于所述端口门和所述框体二者运动时装配在所述第二静止板形凸轮的第二通道内并且沿着所述第二静止板形凸轮的第二通道运动。