假片装置

摘要

本实用新型提出了一种假片装置，所述假片装置包括基板和载物板，所述载物板上设有凹槽，所述基板安装于所述凹槽内部，所述载物板包括一底板和一镂空板，所述镂空板和所述底板对位黏贴，所述镂空板上中间位置开有镂空，所述镂空处与底板组合形成所述凹槽，所述假片装置外沿呈圆形。本实用新型通过此结构为模拟晶圆片进行基板的测试创造了条件。

主权项

一种假片装置，其特征在于，所述假片装置包括基板和载物板，所述载物板上设有凹槽，所述基板安装于所述凹槽内部,所述载物板包括一底板和一镂空板，所述镂空板和所述底板对位黏贴。