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Innentemperatursensor, der die interne Temperatur eines Messobjekts mit guter Genauigkeit und Reaktionsfähigkeit messen kann. Ein Innentemperatursensor 20 ist ausgestattet mit Substraten 21 und 22, deren eine Seite beim Messvorgang der internen Temperatur des Messobjekts mit der Fläche des Messobjekts, an der gemessen wird, in Kontakt gebracht wird, mit einem Wärmestromsensor 30, der auf der anderen Seite der Substrate angebracht ist, mit einem MEMS-Prozess hergestellt wird, einen ersten und einen zweiten Temperaturmessbereich hat und mit einem zu den Substraten parallelen Dünnfilmbereich versehen ist, in dem eine Thermosäule 32 angelegt ist, die die Temperaturdifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Temperaturmessbereich nachweist, wobei der Dünnfilmbereich mittels eines wärmeleitendes Elements getragen wird, das die vom Messobjekt kommende durch das Substrat einfließende Wärme zum zweiten Temperaturmessbereich leitet, während es einen Raum zwischen dem ersten Temperaturmessbereich und dem Substrat frei lässt, und mit einem Temperatursensor 41, der die Temperatur des Substratbereichs misst, der in Kontakt mit dem genannten wärmeleitenden Element ist. |
