发明名称 |
包括有源鳍的半导体器件 |
摘要 |
本发明提供了一种半导体器件,该半导体器件包括:第一有源鳍至第四有源鳍,它们彼此并排在第一方向上延伸;以及场绝缘膜,其覆盖第一有源鳍至第四有源鳍的下部,第一有源鳍和第二有源鳍从场绝缘膜突出第一高度,第三有源鳍从场绝缘膜突出与第一高度不同的第二高度,并且第一有源鳍与第二有源鳍之间的间隔不同于第三有源鳍与第四有源鳍之间的间隔。 |
申请公布号 |
CN105990444A |
申请公布日期 |
2016.10.05 |
申请号 |
CN201610088274.X |
申请日期 |
2016.02.17 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
金成玟;车东镐;朴善钦 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
张帆;崔卿虎 |
主权项 |
一种半导体器件,包括:第一有源鳍至第四有源鳍,它们彼此并排在第一方向上延伸;以及场绝缘膜,其覆盖第一有源鳍至第四有源鳍的下部;其中,第一有源鳍和第二有源鳍从场绝缘膜突出第一高度,其中,第三有源鳍从场绝缘膜突出与第一高度不同的第二高度,并且其中,第一有源鳍与第二有源鳍之间的间隔不同于第三有源鳍与第四有源鳍之间的间隔。 |
地址 |
韩国京畿道 |