一种金属中氢扩散或渗透性能测试方法及其专用装置

摘要

本发明的目的在于提供一种结果更精确的金属中氢扩散或渗透性能测试方法及其专用装置，其特征在于：所述装置由样品室、抽真空系统、双球状真空室、四极质谱仪、氢标准漏孔、压力测试系统、真空测试系统和管路组成；其中样品室两端分别通过管路与抽真空系统相连，样品室的一端与氢气气源连接，样品室与氢气气源之间设有压力测试系统；双球状真空室的上部球形真空室分别与样品室的另一端、氢标准漏孔以及四极质谱仪相连，双球状真空室的下部球形真空室与抽真空系统相连。

主权项

一种金属中氢扩散或渗透性能测试装置，其特征在于：所述装置由样品室(1)、温控系统(2)、压力传感器(3)、氢气气源(4)、抽真空系统、双球状真空室、四极质谱仪(7)、标准氢漏孔(8)、真空规(9)、阀门和管路组成；样品室(1)外设有温控系统(2)，样品室(1)两端分别通过管路与串联有无油机械泵(5.2)的分子泵(5.1)相连，靠近分子泵(5.1)的管路上设有阀门(a)，是用于初抽真空的总阀门；其中样品室(1)的一端与分子泵(5.1)之间的管路上连接有压力传感器(3)和氢气气源(4)，氢气气源(4)与分子泵(5.1)之间设有阀门(b)，氢气气源(4)上设有阀门(c)；样品室(1)的另一端通过双球状真空室的上部球形真空室(6.1)与氢标准漏孔(8)相连，样品室(1)与上部球形真空室(6.1)之间设有阀门(d)，上部球形真空室(6.1)与氢标准漏孔(8)之间设有真空规(9)；双球状真空室的上部球形真空室(6.1)与下部球形真空室(6.2)之间通过法兰及孔板(6.3)相连，下部球形真空室(6.2)连有真空规(9)和离子泵(5.3)；四极质谱仪(7)分别与上部球形真空室(6.1)以及计算机(11)相连。