具有柔性对称的RF返回带的等离子体处理室

摘要

提供了用于处理半导体晶片的室。一种这样的室包括具有用于支撑衬底的表面的静电卡盘。提供了接地组件，所述接地组件围绕所述静电卡盘的周边。所述接地组件包括第一环形部件和第二环形部件以及所述第一环形部件与所述第二环形部件之间的空间。提供了具有柔性的导电带。所述导电带是环形的并且有具有第一端部和第二端部的弯曲形状的横截面。所述导电带被配置在所述空间中，使得所述第一端部电连接到所述第一环部以及所述第二端部电连接到所述第二环形部件。所述弯曲形状的横截面具有开口，当所述环形导电带位于所述空间时，所述开口背离所述静电卡盘。

主权项

一种用于处理半导体晶片的室，其包括：具有用于支撑衬底的表面的静电卡盘；围绕所述静电卡盘的周边的接地组件，所述接地组件包括第一环形部件和第二环形部件以及所述第一环形部件与所述第二环形部件之间的空间；以及具有柔性的导电带，所述导电带是环形的并且有具有第一端部和第二端部的弯曲的C形横截面，所述导电带被设置在所述空间中，使得所述第一端部电连接到所述第一环形部件以及所述第二端部电连接到所述第二环形部件，其中所述弯曲的C形横截面具有开口，当所述导电带维持在所述空间时，所述开口背离所述静电卡盘,其中所述第一环形部件具有L形横截面以及所述第二环形部件具有L形横截面，其中所述L形的长边限定管状部分以及所述L形的短边限定彼此平行且背离所述静电卡盘的延伸部，其中所述空间位于所述L形的限定所述延伸部的短边之间,其中所述接地组件的所述第一环形部件和所述接地组件的所述第二环形部件设置在有穿孔的等离子体约束环的下面。