| 发明名称 | 储料器和用于在储料器中调度晶圆载体的方法 | ||
| 摘要 | 一种储料器，包括：存储架、输出中继架、第一起货设备、输出架、第二起货设备和控制器。存储架具有多个存储空间。输出中继架具有多个第一输出中继空间。输出架具有输出空间。控制器配置为根据限定第一晶圆载体的高优先权的传递命令驱动第一起货设备以将存储在存储空间之一中的第一晶圆载体优先地传送至空的一个第一输出中继空间，并且配置为如果输出空间是空的则根据传递命令驱动第二起货设备以将第一晶圆载体从存储第一晶圆载体的第一输出中继空间优先地传送至输出空间。本发明实施例涉及储料器和用于在储料器中调度晶圆载体的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN105990200A | 申请公布日期 | 2016.10.05 |
| 申请号 | CN201510731409.5 | 申请日期 | 2015.11.02 |
| 申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 王惟正;李凤宁;程炳源 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人 | 章社杲;李伟 |
| 主权项 | 一种储料器，包括：存储架，具有多个存储空间；输出中继架，具有多个第一输出中继空间；第一起货设备；输出架，具有输出空间；第二起货设备；以及控制器，配置为根据限定第一晶圆载体的高传递优先权的传递命令驱动所述第一起货设备以将存储在所述存储空间之一中的所述第一晶圆载体优先地传送至空的一个所述第一输出中继空间，并且配置为如果所述输出空间是空的则根据所述传递命令驱动所述第二起货设备以将所述第一晶圆载体从存储所述第一晶圆载体的所述第一输出中继空间优先地传送至所述输出空间。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||