Mikrospiegel und Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegels

摘要

Die Erfindung betrifft einen Mikrospiegel (1) mit einem Spiegelbereich (5). Der Spiegelbereich (5) weist erste Brechungsschichten (2) aus einem ersten Brechungsschichtmaterial und zweite Brechungsschichten (3) aus einem zweiten Brechungsschichtmaterial auf. Die ersten Brechungsschichten (2) und die zweiten Brechungsschichten (3) sind alternierend angeordnet und liegen aneinander an, so dass die ersten Brechungsschichten (2) jeweils an mindestens einer der zweiten Brechungsschichten (3) anliegen und die zweiten Brechungsschichten (3) jeweils an mindestens einer der ersten Brechungsschichten (2) anliegen. Das erste Brechungsschichtmaterial ist Siliziumdioxid (SiO2) und das zweite Brechungsschichtmaterial ist Siliziumcarbid (SiC).