氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的制作方法

摘要

本发明公开了一种氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的制作方法，包括如下步骤：1）配制混合粉料；2）配制预混液；3）配制固化剂；4）坩埚素坯的制作，本发明的氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的制作方法采用了硅酸乙酯和酸性硅溶胶为主的预混液，与含有二正丁胺的固化剂可在常温下即可发生固化，操作工艺简单，同时采用该预混液还避免了与混合粉料中硅粉发生水化反应，提高了产品的致密度；本发明的制作方法在制作过程中，在室温下干燥后可直接进行烧结，大大节约了能源和制作时间，且经室温干燥后的素坯具有一定的硬度，有效保证了制作完成的坩埚尺寸的精度。

主权项

一种氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：1）配制混合粉料：所述的混合粉料是由粒度为10μm~100μm的碳化硅粉与粒度为1μm~100μm的硅粉干法混合而成的，按混合粉料的总重量百分比100%计，其中，所述碳化硅粉占所述混合粉料的重量百分比大于50%且小于85%，所述硅粉占所述混合粉料总重量百分比的剩余量；2）配制预混液：所述预混液是由如下重量百分比的组分混合而成的：硅酸乙酯20%~40%、无水乙醇20%~35%、异丙醇1.5%~3%、丙二醇甲醚8%~15%、酸性硅溶胶15%~25%、盐酸0.2%~1%；3）配制固化剂：所述固化剂是由二正丁胺与无水乙醇按照重量比25~40:60~75的比例混合而成的；4）坩埚素坯的制作：将步骤2）中配制好的所述预混液及步骤1）中配制好的所述混合粉料按照投料质量比20: 80~50:50进行混合，混合均匀得到浆料，对所述浆料进行除泡处理，而后加入步骤3）中配制好的固化剂，固化剂的投料质量为所述预混液质量的0.3~3%；之后将含有固化剂的浆料注入到模具中，在室温下固化、脱模得到素坯，之后将素坯置于氮气烧结炉内进行烧制得到所需的氮化硅结合碳化硅陶瓷坩埚。