一种晶片清洗装置

摘要

蓝宝石晶片生产加工过程中，晶片表面留有许多微粒，为清洗晶片表面的微粒，本实用新型提供一种晶片清洗装置，属于蓝宝石晶片加工技术设备领域，包括高科技垫板、高级洁净无尘布和喷水装置，所述高级洁净无尘布设置于高科技垫板上，所述晶片固定于高级洁净无尘布上，所述喷水装置设置于晶片上方，还包括纳米级海绵，所述纳米级海绵用于擦除晶片表面颗粒。本实用新型采用高级洁净无尘布和纳米级海绵，在水的冲洗下，配合擦拭晶片表面。本实用新型结构简单，方便实用，简捷有效，可完全去除晶片表面的微尘颗粒，为晶片的进一步加工使用提供质量保障。

主权项

一种晶片清洗装置，用于清洗晶片（1）表面微粒，其特征在于：包括高科技垫板（2）、高级洁净无尘布（3）和喷水装置（4），所述高级洁净无尘布（3）设置于高科技垫板（2）上，所述晶片固定于高级洁净无尘布（3）上，所述喷水装置（4）设置于晶片上方。