发明名称 |
晶片清洗装置 |
摘要 |
晶片清洗装置,包括机架,设置在机架上的上支撑板和下支撑板,在上支撑板和下支撑板之间设置有晶片载具,在下支撑板的中部具有一轴接驱动电机的中间转轴,在上支撑板上设置有上滚刷和上喷头,驱动上滚刷旋转的滚刷电机固定在上支撑板上,上喷头位于上支撑板的另一端,与上喷头相连接的喷淋管与供液管连接,在下支撑板上设置有下滚刷和下喷头,在机架的下支撑板上设置有排液管,所述排液管与供液管连接,在所述排液管上还设置有过滤器;本实用新型通过喷头喷洒清洗液及滚刷的刷洗,以实现对晶片的清洁,在所述排液管上还设置有过滤器。使用过的清洗液经过滤后可以重新利用,有利于节约企业成本。 |
申请公布号 |
CN205595313U |
申请公布日期 |
2016.09.21 |
申请号 |
CN201620401745.3 |
申请日期 |
2016.05.03 |
申请人 |
元鸿(山东)光电材料有限公司 |
发明人 |
朱宁;刘增伟;王培培 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
济宁众城专利事务所 37106 |
代理人 |
杜言垒 |
主权项 |
一种晶片清洗装置,包括机架(6),设置在机架(6)上的上支撑板(4)和下支撑板(18),在上支撑板(4)和下支撑板(18)之间设置有晶片载具(17),所述晶片载具(17)呈圆盘形,在晶片载具(17)的中间开设有齿型孔(15),晶片载具的盘面上均匀布置有若干安装晶片(7)的载片穿孔(16),在下支撑板(18)的中部具有一轴接驱动电机(12)的中间转轴,所述中间转轴(13)的外圈齿轮与所述齿型孔啮合连接,其特征在于:在上支撑板(4)上设置有上滚刷(1)和上喷头(5),上滚刷(1)设置在上支撑板(4)的一端且位于晶片(7)的正上方,驱动上滚刷(1)旋转的滚刷电机(3)固定在上支撑板(4)上,上喷头(5)位于上支撑板(4)的另一端,与上喷头(5)相连接的喷淋管(2)与供液管(8)连接,在下支撑板(18)上设置有下滚刷(14)和下喷头(11),上滚刷(1)与下喷头(11)上下位置对应,上喷头(5)与下滚刷(14)上下位置对应,在机架(6)的下支撑板(18)上设置有排液管(9),所述排液管(9)与供液管(8)连接,在所述排液管(9)上还设置有过滤器(10)。 |
地址 |
272000 山东省济宁市高新区联华路8号(信息产业园内) |