| 摘要 |
본 발명은 진공밸브(1)의 내부(3)를 흐르는 매체의 흐름을 차단(interrupting), 개방 또는 제어하기 위한 진공밸브에 관한 것이다. 밸브 드라이브(5)로 연결된 샤프트(6)가 밸브 하우징(2)을 통해 밀폐 샤프트 관통부(20)에 의해 기밀한 방식으로 대기영역(4)에서 내부(3)로 안내됨에 따라 밸브 드라이브(5)에 의해 발생한 움직임이 대기영역(4)에서 내부(3)로 전달되어 흐름을 차단(interrupting), 개방 또는 조절하게 된다. 상기 샤프트 관통부(20)는 반경방향으로 가스 밀폐 방식으로 샤프트(6)를 동심형으로 감싸기 위한 제1 밀폐링(21), 상기 샤프트(6)에 대해, 축방향으로 마주보는 지지 표면(22), 가스-밀폐 방식으로 제1 밀폐링(1)이 적어도 부분적으로는 상기 지지 표면에 대해 인접해 있고, 지지링(23) 및 스프링(25)을 포함한다. 지지링(23)의 내부 원뿔편(24)은 적어도 부분적으로 제1 밀폐링(21)을 감싼다. 상기 스프링(25)은 지지표면(22)을 향한 방향으로 축방향으로 지지링(23)을 가압하기 때문에 원뿔편(24)이 상기 지지표면(22)과 샤프트(6) 상에 실질적으로 일정한 압력을 가하면서 순응적으로(pliably) 제1 밀폐링(21)을 탄성 가압하게 된다. |
