| 发明名称 | 抗蚀剂组合物和干膜 | ||
| 摘要 | 本发明提供抗蚀剂组合物和干膜。提供能够形成耐氢氟酸性优异的抗蚀膜的抗蚀剂组合物和具有由该组合物得到的树脂层的干膜。一种抗蚀剂组合物，其特征在于，其包含具有联苯结构的碱溶性树脂；以及，一种干膜，其具有由该组合物得到的树脂层。 | ||
| 申请公布号 | CN105938296A | 申请公布日期 | 2016.09.14 |
| 申请号 | CN201610125297.3 | 申请日期 | 2016.03.04 |
| 申请人 | 太阳油墨制造株式会社 | 发明人 | 西尾一则;宫泽俊春 |
| 分类号 | G03F7/027(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/027(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人 | 刘新宇;李茂家 |
| 主权项 | 一种抗蚀剂组合物，其特征在于，其包含具有联苯结构的碱溶性树脂。 | ||
| 地址 | 日本埼玉县 | ||