发明名称 在低压力下进行等离子体感应涂覆的方法和设备
摘要 本发明公开了一种在低压力下进行等离子体感应涂覆的方法和设备。所述方法包括步骤:提供具有表面的衬底;将包括1H,1H,2H,2H‑全氟癸基丙烯酸酯的化合物蒸发到惰性气体流内;在蒸发到所述气体流内期间保持所述化合物恒温;将所述表面暴露给气体和化合物的混合物;将所述表面暴露给气体和化合物的混合物中产生的连续波等离子体,具有等离子体电路提供的等离子体功率。本发明具有涂覆效率高、涂层均匀的优点。
申请公布号 CN102477535B 申请公布日期 2016.09.14
申请号 CN201110349945.0 申请日期 2011.11.08
申请人 奥迪康有限公司 发明人 M·奥尔加德
分类号 C23C14/12(2006.01)I;C23C14/32(2006.01)I 主分类号 C23C14/12(2006.01)I
代理机构 北京金阙华进专利事务所(普通合伙) 11224 代理人 陈建春
主权项 在低压力下等离子体涂覆憎水和憎油聚合层的方法,所述方法包括步骤:‑提供具有表面的衬底;‑将包括1H,1H,2H,2H‑全氟癸基丙烯酸酯的化合物蒸发到惰性气体流内;‑在蒸发到所述气体流内期间保持所述化合物恒温;‑将所述表面暴露给气体和化合物的混合物;‑将所述表面暴露给气体和化合物的混合物中产生的连续波等离子体,具有等离子体电路提供的等离子体功率;‑将所述化合物引入容器(10)内并在容器(10)中形成液‑气界面(14);‑将惰性气体流引入容器(10)内并位于所述液‑气界面(14)上方;‑在所述液‑气界面(14)的上方提取气体和蒸发的化合物的混合物;‑通过所述容器(10)的圆柱形侧壁形成液‑气界面(14),因而确保预定面积的蒸发表面,使得在蒸发期间,即使容器(10)中的液体量变化,仍将存在同样的蒸发表面;‑提供覆盖底部并至少淹没圆柱形壁部的下部的液体量;及‑向所述容器中沿所述气体到达容器出口(12)必须流过的通路提供的一个或多个PTC型电阻元件(15,16,17,18)提供恒定的电压,其中一PTC型电阻元件(15)的下边缘淹没在所述液‑气界面(14)下面并与所述容器(10)中存在的液体化合物接触。
地址 丹麦斯门乌姆