主权项 |
在低压力下等离子体涂覆憎水和憎油聚合层的方法,所述方法包括步骤:‑提供具有表面的衬底;‑将包括1H,1H,2H,2H‑全氟癸基丙烯酸酯的化合物蒸发到惰性气体流内;‑在蒸发到所述气体流内期间保持所述化合物恒温;‑将所述表面暴露给气体和化合物的混合物;‑将所述表面暴露给气体和化合物的混合物中产生的连续波等离子体,具有等离子体电路提供的等离子体功率;‑将所述化合物引入容器(10)内并在容器(10)中形成液‑气界面(14);‑将惰性气体流引入容器(10)内并位于所述液‑气界面(14)上方;‑在所述液‑气界面(14)的上方提取气体和蒸发的化合物的混合物;‑通过所述容器(10)的圆柱形侧壁形成液‑气界面(14),因而确保预定面积的蒸发表面,使得在蒸发期间,即使容器(10)中的液体量变化,仍将存在同样的蒸发表面;‑提供覆盖底部并至少淹没圆柱形壁部的下部的液体量;及‑向所述容器中沿所述气体到达容器出口(12)必须流过的通路提供的一个或多个PTC型电阻元件(15,16,17,18)提供恒定的电压,其中一PTC型电阻元件(15)的下边缘淹没在所述液‑气界面(14)下面并与所述容器(10)中存在的液体化合物接触。 |